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一文了解四氯化硅的综合利用

所属分类：行业动态

2024-01-12

　　近几年我国的多晶硅产量呈现几何级数的发展，采用改良西门子法技术建造大型多晶硅装置受到国内投资者的热捧，但多晶硅副产物——四氯化硅的处置却成为多晶硅产业发展的一道难以迈过的“槛”，让硅行业戴上了高污染的帽子。

　　四氯化硅是生产预制棒的主要原料，占预制棒成本的30%。常用的预制棒制造工艺主要有棒外气相沉积法(OVD)、轴向气相沉积法(VAD)、改进的化学气相沉积法(MCVD)、等离子体激活化学气相沉积法(PCVD)等四种。

　　但是以四氯化硅为原料生产光纤，需要四氯化硅中杂质的质量分数低于10-7，对提纯技术的要求十分苛刻，德国Merck公司给出了一个光纤级四氯化硅的质量标准;即使有了高纯度四氯化硅，用PCVD方法合成光纤，技术要求也十分严格，不是一般企业所能掌握的。

　　四氯化硅氢化为三氯氢硅返回系统循环利用的工艺技术主要高温氢化(直接氢化)、低温氢化(添加硅粉氢化)、氯氢化(添加氯化氢和硅粉)、高压等离子体还原和催化氢化等五种技术。高温氢化(热氢化) 四氯化硅的高温氢化是目前处理多晶硅副产物四氯化硅的一种重要方法。高温氢化是以四氯化硅和氢气为原料，经1200～1250℃的石墨发热体加热，进行热还原反应生成三氯氢硅。

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